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氖气（Ne）| 一氧化二氮（N2O）| 一氧化氮（NO）| 三氟化氮（NF3）| 三氯化硼（BCl3）| 三氯甲烷（CHF3）| 丙烯(C3H6)| 乙烯(C2H4)| 二氟甲烷（CH2F2）| 二氧化硫（SO2）| 二氧化碳（CO2）| 五氟乙烷（C2HF5）| 六氟丙烯（C3F6）| 六氟化硫（SF6）| 四氟化碳（CF4）| 异丁烯（C4H8）| 氙气（Xe）| 氨气（NH3）| 氪气（Kr)| 氯化氢（HCl）| 氯气（Cl2）| 甲烷（CH4）| 硅烷（SiH4）|

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≤1.6MPa（低压）| 1.6MPa～8MPa（中压）| >8MPa（高压）|

≤1.6MPa（低压）|